Cette UE a pour objectifs de présenter les différents systèmes de caractérisation, d’analyse et usinage de matériaux et dispositifs pour l’industrie. Ces différents systèmes seront abordés suivant divers points de vue : leur principe de fonctionnement et leur utilisation, ainsi que leur développement instrumental.
Des éléments de cette UE pourront être sélectionnés dans le cadre du parcours Technico-commercial.
PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT
- Les microscopies électroniques et ioniques
- Les microscopies en champ proche
- Les techniques d’analyse de surface
DEVELOPPEMENT INSTRUMENTAL & APPLICATIONS
- Sources d’électrons : correction d’aberration sphérique…
- Sources d’ions : application au FIB et Tof-SIMS
- Lithographie électronique
- Micro et nano dispositifs électromécaniques
- Nano-métrologie
TRAVAUX PRATIQUES
- Microscope électronique à balayage et en transmission (MEB, MET)
- Microscopie en champ proche (AFM)
- Microscopie de faisceau d’ions focalisés (FIB)
- Spectroscopie de photoélectron X (XPS)
- Spectroscopie de masse d’ions secondaires (Tof-SIMS)
- Spectrométrie d'émission atomique de plasma induit par laser (LIBS)
Evaluation
Examen(s) écrit(s) et oral(aux)
Session 2
Intervenants extérieurs
Orsay Physics, LNE, C2N, CEA LETI
