Université Lyon 1
Arqus
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  • Unité d'enseignement : Instruments scientifiques : developpement et applications
Nombre de crédits de l'UE : 9
Code APOGEE : PHY2386M
    Responsabilité de l'UE :
BENOIT JEAN-MICHEL
 jean-michel.benoituniv-lyon1.fr
04.72.44.85.62
    Type d'enseignement
Nb heures *
Cours Magistraux (CM)
46 h
Travaux Dirigés (TD)
16 h
Travaux Pratiques (TP)
22 h
Durée de projet en autonomie (PRJ)
0 h
Durée du stage
0 h
Effectif Cours magistraux (CM)
210 étudiants
Effectif Travaux dirigés (TD)
35 étudiants
Effectif Travaux pratiques (TP)
18 étudiants

* Ces horaires sont donnés à titre indicatif.

    Compétences attestées (transversales, spécifiques) :
Principe de l'interaction rayonnement-matière : interaction de faisceaux électroniques et ioniques avec la matière.

Connaissance de l'instrumentation et du fonctionnement des instruments de microscopies et de spectroscopies électroniques et ioniques.

Principe des interactions en champ proche : application aux microscopies en champ proche.

Connaissance de l'instrumentation et du fonctionnement des microscopies en champ proche.
    Programme de l'UE / Thématiques abordées :

Cette UE a pour objectifs de présenter les différents systèmes de caractérisation, d’analyse et usinage de matériaux et dispositifs pour l’industrie. Ces différents systèmes seront abordés suivant divers points de vue : leur principe de fonctionnement et leur utilisation, ainsi que leur développement instrumental.

Des éléments de cette UE pourront être sélectionnés dans le cadre du parcours Technico-commercial.


PRINCIPE DE FONCTIONNEMENT

  • Les microscopies électroniques et ioniques
  • Les microscopies en champ proche
  • Les techniques d’analyse de surface


DEVELOPPEMENT INSTRUMENTAL & APPLICATIONS

  • Sources d’électrons : correction d’aberration sphérique…
  • Sources d’ions : application au FIB et Tof-SIMS
  • Lithographie électronique
  • Micro et nano dispositifs électromécaniques
  • Nano-métrologie


TRAVAUX PRATIQUES

  • Microscope électronique à balayage et en transmission (MEB, MET)
  • Microscopie en champ proche (AFM)
  • Microscopie de faisceau d’ions focalisés (FIB)
  • Spectroscopie de photoélectron X (XPS)
  • Spectroscopie de masse d’ions secondaires (Tof-SIMS)
  • Spectrométrie d'émission atomique de plasma induit par laser (LIBS)

Evaluation
Examen(s) écrit(s) et oral(aux)
Session 2


Intervenants extérieurs
Orsay Physics, LNE, C2N, CEA LETI
    Parcours / Spécialité / Filière / Option utilisant cette UE :
Date de la dernière mise-à-jour : 16/04/2018
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